為了進一步確定故障部位，伺服器維修時在系統接通的情況下，利用手輪少量移動Z軸(移動距離應控制在系統設定的最大允許跟隨誤差以內，防止出現跟隨誤差報警)，測量Z軸直流驅動器的速度給定電壓，經檢查發現速度給定有電壓輸入，其值大小與手輪移動的距離、方向有關。由此可以確認數控裝置工作正常，確定伺服器維修故障原因是由于伺服驅動器的不良引起的。

主回路是最容易修復的，一般就是先整流，然后電容穩壓，最后逆變，中間可能會有泄壓保護回路（制動單元制動電阻之類），這些基本上都是模塊為主的電路，更多是智能化IPM模塊，壞了大都需要更換，不過主回路有問題后，一般都要先檢查驅動板是否也跟著損壞了再決定換上新的模塊上電，否則很容易因為驅動板故障引起新裝上去模塊的再次燒毀。 伺服馬達維修分為機械、電氣和磁場三類維修。機械類維修為軸承，外殼等修復，這些工作屬于簡單的維修處理，只要配備簡單的拆卸工具就可以勝任，不過拆編碼器時候要小心，因為出廠時候編碼器有個零位置已經調整好，如果挪動的話，沒有一定的技術功力是調不回去的。

電氣類維修一般為繞線和處理編碼器，繞線可以根據匝數和電流（銅線大小）來進行，并不復雜，處理編碼器比較麻煩，如果沒有配件，很多進口伺服馬達編碼器的零位置是走通訊的，換成其他品牌的如果沒有特殊的處理也是沒有用的，有一些是旋轉變壓器相對容易些，即使有配件，各種廠 家的對零方式也不盡相同，所以經驗積累很重要了。 而且修復磁場并不容易，因為磁損耗是一種常見現象，沒有專門的工具基本上不可能修復。總之，伺服電機的維護比伺服驅動器的維護更困難，目掌握這種維護技術。