河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程建立過程在東鑫凈化的統(tǒng)籌布置下停止的，統(tǒng)一各方意見，在設(shè)計(jì)、施工過程中處理諧和由于各自證據(jù)，對(duì)建立過程形成隱患、返工等弊端，保證凈化實(shí)驗(yàn)室的緊密，使其長期低能耗、低本錢運(yùn)轉(zhuǎn)。模塊化：在為實(shí)驗(yàn)室用戶設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室凈化工程處理計(jì)劃時(shí)，采用產(chǎn)業(yè)化、規(guī)范化的運(yùn)營理念，歸結(jié)整理多年的凈化工程項(xiàng)目，是將復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)室凈化工程項(xiàng)目模塊化，以便依據(jù)用戶的不同狀況、特性和需求做出愈加優(yōu)化的組合。在提供的計(jì)劃中，采用了合適當(dāng)?shù)貭顩r的方式，將建筑物裝修、配電、空調(diào)、消防全部規(guī)范化的計(jì)劃，制定了有針對(duì)性的計(jì)劃設(shè)計(jì)。 完好性：河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程能夠?yàn)榭蛻籼峁┮徽臼降摹皞魉丸€匙”工程，降低采購本錢，減少客戶的大量努力、物力和人力投入，客戶不用思索過多的技術(shù)細(xì)節(jié)。經(jīng)過整個(gè)實(shí)驗(yàn)室凈化工程處理計(jì)劃，為客戶提供統(tǒng)一接口，整合一切設(shè)備供給商、工程承包商、效勞供給商，經(jīng)過系統(tǒng)的設(shè)備配置，確保整個(gè)實(shí)驗(yàn)室的容量和設(shè)備之間的諧和，滿足當(dāng)前和將來的開展需求。此外，還能夠?yàn)橛脩籼峁┖贤冢ＷC用戶取得長期或終身的效勞維護(hù)，從而保證家具投資的宏大利益。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來肯定，但在滿足工藝請(qǐng)求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場所，可并用無塵工作臺(tái)，進(jìn)步干凈室等級(jí)。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間